刘海韵副教授应邀主讲学院2026年系列学术报告会第二讲（总第47期）

2026年3月11日，信息院2026年系列学术报告会第二讲（总第47期）在学院409会议室成功举办。学院刘海韵副教授应邀作题为“MEMS薄膜材料参数在线测试技术”的专题学术报告，为师生呈现了一场聚焦行业前沿、兼具理论深度与应用价值的学术分享。

报告中，刘海韵副教授围绕国内MEMS（微机电系统）产业化进程中的关键瓶颈，以“工艺兼容”“电学测量”“通用设备”三大核心原则为切入点，系统剖析了现有离线测试方案在产线应用中的局限，重点探讨了单层及多层MEMS薄膜材料的在线测试路径。

报告核心聚焦产业导向的PCM（工艺控制监测）测试与表征体系，详细介绍了多项创新研究成果：依托测试结构电阻值与形状尺寸的映射关系，实现微纳尺度几何参数的电学精准测量；通过设计电热执行微旋转结构与静电执行非吸合结构，破解力学参数测量不可重复的难题；基于界面传热机制与微尺度多相热学特性分析，建立单层及多层薄膜电热特性理论模型，并结合非均匀温度场、结构屈曲等复杂工况，构建多层薄膜吸合效应与谐振特性理论模型，实现热学参数的电学表征突破。

此次报告提出的测试方法兼具“无损、高效、低成本”优势，可为国产MEMS芯片一致性提升与可靠性保障提供重要技术支撑。报告不仅彰显了学院在MEMS前沿领域的科研积淀与创新探索，更搭建了优质学术交流平台，为相关学科高质量发展、深化产学研融合注入新动能。